第332章 光刻机到位，65nm 良率狂飙

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半个月后，张江半导体研究院。

陈敬言院士站在洁净车间门口，穿着全套无尘服，眼睛一眨不眨地看着里面的工程师调试设备。

三台崭新的浸润式光刻机一字排开，旁边配套的刻蚀机、薄膜沉积设备也全部就位，整条 65纳米工

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