第232章 碳基芯片的难点

整整一天，孙德厚和孟寻与何兰的技术人员一同，将3台光刻机都开动了一遍，经过了一系列测试。

除了光刻机本身，用的是即将淘汰的duv技术，其他并没有问题。

“唉，两年过后，我们又得去求14nm的euv光刻机了